日本住友SGX系列半导体用臭氧水生产设备_北京同林臭氧实验装置一站式解决方案
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日本住友SGX系列半导体用臭氧水生产设备  SGX-1G21SNC

型号:SGX-1G21SNC
品牌:日本住友
臭氧浓度:0-150ppm
臭氧产量:150ppm
使用气源:氧气源
产地:日本
冷却方式:水冷
设备尺寸:定制
整机重量:20~100Kg
推荐指数:comment rank 5
购机说明:
提前了解实验要求,才能更好的为您推荐合适的实验机型。咨询在线客服或致电:010-82461830,谢谢~

支持定制,满足实验需求
配件完善,安装如此简单
顺丰快递,包装配送无忧
视频指导,问题及时解决
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产品详情

实验现场

臭氧知识

参考文献

住友的洁净臭氧水制造设备是将洁净ONE体育产生的臭氧气体溶解于超纯水中,生成臭氧水的装置。
最大限度地抑制微粒子和金属污染的溶出,在半导体、液晶等电子设备材料的制造过程中,用于去除有机物、表面改性等用途,得到众多客户的高度评价评价。。
 
应用领域
半导体
各种晶圆
FPD(LTPS、HTPS、TFT、彩色滤光片、OLED)
光罩
硬盘
 
SGX-1G21SNC规格
臭氧水浓度:5至100ppm
臭氧水流量:1 至 120 升/分钟
臭氧水供给压力:max.0.25MPa
原料气:氧气,(二氧化碳作为浓度衰减的对策)
电源:AC200V 三相


SGX-1B11SN规格
臭氧水浓度 5至150ppm
臭氧水流量 1 至 90 升/分钟
原料气 氧气,(二氧化碳作为浓度衰减的对策)
电源 AC200V 三相

SGXG规格
臭氧水浓度:5-30ppm
臭氧水流量:1 至 60 升/分钟
原料气:氧气(二氧化碳作为浓度衰减的对策)
电源:AC200V 三相
 
特征
能够处理高浓度和大流量
占地面积小,结构紧凑
低廉的运行成本(低功耗、更换部件少、放电电池寿命长)
高耐压、长寿命的高可靠性放电电池
快速启动和出色的集中响应能力
通过连接臭氧浓度计(反馈控制)实现出色的浓度稳定性
CE/NRTL 认证,符合 SEMI 标准
停机时无需维护
也可提供不含硝酸的臭氧水
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